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建立了全反射 X 荧光分析技术,采用了特殊的全反射系统。充分有效地利用初始射线。使在小柬流条件下。达到较高的探测灵敏度。对二次全反射系统的结构进行了研究。选取了合适的结构。对钼激发和铜激发全反射形成的条件和高能切割现象进行了研究。研究了不同石英材料做的样品托（二级反射器）的杂质含量和对测量的影响进行了测试分析。以钴和钇元素为样品分别对铜激发和钼激发条件下的最小探测限进行了测量。分别达到0.6×10<sup>-9</sup>和2.2×10<sup>-9