【摘 要】
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微纳米结构制造涉及新兴产业中的诸多领域,例如薄膜太阳能电池的纳米陷光结构(nano light-trapping),可大幅度提升光能的转换效率;光子晶体图形化(nanophotonic crystal patt
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微纳米结构制造涉及新兴产业中的诸多领域,例如薄膜太阳能电池的纳米陷光结构(nano light-trapping),可大幅度提升光能的转换效率;光子晶体图形化(nanophotonic crystal patterning)是中大功率LED图形化衬底的核心技术;与波长相当的纳米结构可以表达颜色,形成不用染料(颜料)的彩色图像,从而可以推动“无油墨纳米印刷”的技术进步;微纳米结构制造技术对新型平板显示、OLED照明等行业的“节能-增效”具有技术支撑作用.这里,涉及行业共性技术难题,大幅面微纳米图形化制造技术,尤其米级幅面、纳米结构这样的极限制造技术的方法、关键技术和系统,就是必须要解决的前沿性项目.
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