由于高温室效应潜在值,SF₆被列入温室气体行列。为减少SF₆的排放,对需排放的SF₆废气进行无害化降解成为了一条有效途径。该文选择He、Ar、N2、air四种气体作为背景气体,采用双层介质阻挡放电（dielectric barrier discharge,DBD）等离子体技术对SF₆浓度为2%的混合气体进行降解实验研究,以研究不同的背景气体对SF₆降解的影响。放电过程中采用Q-U Lissajous图形法测量并计算放电功率。在相同频率不同输入功率条件下,考察不同背景气体下的放电特性,对不同降解时间后的SF₆浓度进行检测以获得其降解率。实验结果表明,以He和Ar为背景气体较以N2和air为背景气体容易产生均匀、稳定的DBD;以He、Ar为背景气体可以获得较好的降解效果,相对以N2和air为背景气体时完全降解消耗更少的能量和时间;从能量和降解效率角度考虑,应选择以单原子气体作为背景气体来降解SF₆。