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从排胶和共烧两方面 ,研究了氮化铝 ( Al N) /玻璃复合材料的低温共烧。排胶研究结果表明 :流延坯片和银浆的排胶特性不同 ,氧化性气氛有利于两者的排胶。共烧研究表明 :Al N/玻璃复合系统的烧结为液相烧结 ;引入微氧烧结气氛将改变界面状况 ,有利于 Al N/玻璃复合材料和银共烧的实现
高密度封装用氮化铝(AIN)/玻璃复合材料低温共烧研究
【摘 要】
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从排胶和共烧两方面 ,研究了氮化铝 ( Al N) /玻璃复合材料的低温共烧。排胶研究结果表明 :流延坯片和银浆的排胶特性不同 ,氧化性气氛有利于两者的排胶。共烧研究表明 :Al N
【机 构】
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复旦大学材料科学系
【出 处】
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固体电子学研究与进展
【发表日期】
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2003年04期
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