【摘 要】
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以二乙基锌(DEZ)和水(H2O)为前驱体,采用原子层沉积方法在玻璃微球基底上沉积ZnO薄膜,得到核壳结构的ZnO包覆微球.以该微球为核心构筑传感器件,研究了器件的紫外、温度响应特
【机 构】
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大连理工大学精细化工国家重点实验室,辽宁大连116024
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以二乙基锌(DEZ)和水(H2O)为前驱体,采用原子层沉积方法在玻璃微球基底上沉积ZnO薄膜,得到核壳结构的ZnO包覆微球.以该微球为核心构筑传感器件,研究了器件的紫外、温度响应特性.由于ZnO固有的光电效应以及对O2的吸附和解吸作用,该器件显示出较为灵敏的紫外响应特性;由于ZnO独特的热释电效应,该器件能够灵敏地响应温度变化,电流变化率的灵敏度为7.80％/℃.进一步将其应用于人体呼吸的实时检测,实现了对不同人体热活动状态的区分与监测,可广泛应用于医疗和健康领域.
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