【摘 要】
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本文讨论目前应用广泛的溅射工艺,特别是应用于沉积MoS2、WS和PTFE固体润滑的溅射技术.溅射MoS2膜试验结果表明,固体润滑特性直接受选择的溅射参数(功率、密度、压力、溅射蚀
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本文讨论目前应用广泛的溅射工艺,特别是应用于沉积MoS2、WS和PTFE固体润滑的溅射技术.溅射MoS2膜试验结果表明,固体润滑特性直接受选择的溅射参数(功率、密度、压力、溅射蚀刻、直流偏压等)和底材温度、表面化学性质、外形以及摩擦试验时环境条件的影响.电子显微镜和其他表面灵敏的分析手段表明,溅射MoS2膜的形态和化学性质的组合变化直接影响膜的结合强度和摩擦性质,薄的溅射润滑膜只有在选择了合适的溅射参数和被镀工件的材料时,才能可靠使用.附图1幅,参考文献2篇.
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