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研究了多晶钼、钨第一镜样品经等离子体辐照前后的表面形貌及反射率变化。实验结果表明：第一镜表面的各个部位在石墨限制器以下所处的区域不同,经等离子体辐照后,处于沉积区的镜面比处于腐蚀区的镜面相对平滑,反射率也相对较高,此外,在保持表面反射率性能方面,钨第一镜样品要优于钼第一镜样品。
等离子体辐照对第一镜表面反射率的影响研究
【摘 要】
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研究了多晶钼、钨第一镜样品经等离子体辐照前后的表面形貌及反射率变化。实验结果表明：第一镜表面的各个部位在石墨限制器以下所处的区域不同,经等离子体辐照后,处于沉积区的
【机 构】
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中国科学院等离子体物理研究所
【出 处】
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表面技术
【发表日期】
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2010年4期
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