【摘 要】
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介绍了一种利用高分辨力CCD快速检测大KI径光学元件表面和体内疵病的方法。利用侧照明方式对大口径光学元件进行均匀掠射照明，表面和体内疵病因为散射在暗室成像过程中影像被
【机 构】
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中国工程物理研究院激光聚变研究中心
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介绍了一种利用高分辨力CCD快速检测大KI径光学元件表面和体内疵病的方法。利用侧照明方式对大口径光学元件进行均匀掠射照明，表面和体内疵病因为散射在暗室成像过程中影像被放大。对比研究了疵病示踪尺寸和真实尺寸，得出近似数学关系，利用高分辨力CCD，通过一次性成像获得光学元件疵病尺寸近似值、2维空间位置等定量描述表面特征的信息。
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