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针对大尺寸基板玻璃翘曲度的精密测量,提出基于实时整定多项式权值的广义最小方差(RAPW_GMV)随动扫描测量方法。主要思想是根据实时估计的被控对象参数及RAPW_GMV输出误差修正多项式的权值,实现测头自动跟踪扫瞄测量。实验证明,该方法小位移精密测头自动测量未知曲面的跟踪误差优于0.02mm,实现了基板玻璃翘曲度的快速、高精度自动测量。