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“水窗”波段3.1～4.4nm用X射线多层膜反射镜的结构与光学性能

来源 :光机电信息 | 被引量 : 0次 | 上传用户：s1u2n3cn

【摘 要】

：

<正> 软X射线多层膜技术从八十年代起发展至今,对于10nm以上波段制备技术已趋成熟.但是,开发制备高性能水窗波段(2.4～4.4nm)用正入射多层膜反射元件对于现代技术仍然是一大挑

【作 者】

：

张俊平 

【出 处】

：

光机电信息

【发表日期】

：

1996年8期

【关键词】

：

X射线 多层膜反射镜 光学性能 

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<正> 软X射线多层膜技术从八十年代起发展至今,对于10nm以上波段制备技术已趋成熟.但是,开发制备高性能水窗波段(2.4～4.4nm)用正入射多层膜反射元件对于现代技术仍然是一大挑战.周期极小(1.2～2.2nm)的X射线多层膜反射镜对界面粗糙度和层间扩散渗透有极其苛刻的要求.即使是一个原子尺度的界面粗糙度都对多层膜

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