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本文综述了在2013年～2014年上半年间日本半导体用电子特气方面的市场变化,根据不同应用领域对电子特气的需求,开发出新技术和新装备,为电子特气大规模生产做贡献.
日本电子特气业的技术与市场新观察
【摘 要】
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本文综述了在2013年～2014年上半年间日本半导体用电子特气方面的市场变化,根据不同应用领域对电子特气的需求,开发出新技术和新装备,为电子特气大规模生产做贡献.
【机 构】
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中国电子材料行业协会经济技术管理部,北京100006
【出 处】
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全国特种气体第十八次年会
【发表日期】
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2014年11期
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