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磁控溅射中频电源及其辉光放电负载是一个典型的强非线性时变系统,对该系统建模并求其解析解是相当困难的。使用Simulink对磁控溅射中频电源建模,对电源工作时各种工况下输出电流波形进行了研究,研究表明,这种仿真方法对电源系统设计有效,可以推广应用。
磁控溅射中频电源仿真研究
【摘 要】
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磁控溅射中频电源及其辉光放电负载是一个典型的强非线性时变系统,对该系统建模并求其解析解是相当困难的。使用Simulink对磁控溅射中频电源建模,对电源工作时各种工况下输出
【机 构】
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南华大学,湖南大学,南华大学
【出 处】
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机械与电子
【发表日期】
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2005年03期
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