【摘 要】
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针对具有重入的串行系统如半导体晶圆制造这类系统中生产提前期和负荷之间存在较强非线性依赖关系以及设备维护对生产计划的执行有较大扰动的事实,将预防性维护纳入非固定提
【机 构】
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上海交通大学机械与动力工程学院工业工程系
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目(71472125)
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针对具有重入的串行系统如半导体晶圆制造这类系统中生产提前期和负荷之间存在较强非线性依赖关系以及设备维护对生产计划的执行有较大扰动的事实,将预防性维护纳入非固定提前期函数以体现生产和维护的相互制约,提出了描述生产负荷、预防性维护与生产计划提前期关系的函数,基于该函数建立了生产计划与预防性维护联合优化模型。该模型以最小化系统的生产和维护总成本为目标,与现有的生产计划模型相比,考虑了预防性维护对生产计划执行的影响。生产线不同复杂程度和设备劣化水平下的数值实验表明,该联合优化模型具有更低的总成本。
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