基于TCAD的门极换流晶闸管的研究

来源 :合肥工业大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:nb08611033
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文章基于ISE公司的半导体仿真软件TCAD系列软件对GCT进行了模拟,通过建立的GCT模型,研究了透明阳极结构和栅极数目对通态特性的影响。模拟结果表明,透明阳极中的杂质总量是决定GCT的通态压降的关键因素,杂质总量越多,通态压降越低。研究成果对GCT器件的设计和制造具有重要的参考价值。
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