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介绍了一种利用波导实现X波段芯片级功率合成的方法，波导合成器特别适用于大功率、高频段的功率合成，损耗小、合成效率高。借助HFSS软件进行仿真优化，然后依托精密的机加工技术制作出来的波导功率合成器，具有良好的输出端驻波和很小的插损。合成单元20w模块由两个功率单片通过Wilkinson桥合成，在合成之前单独调试，确保功率和相位基本一致。最后得到的合成功率放大器输出功率大于150W，合成效率接近95％。