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本文提出了旋转法标定球面干涉仪系统误差的方法，该方法根据Zemike多项式的性质，通过旋转被测球面零件，可以消除干涉仪测量光学球面面形误差时所存在的固有系统误差，可实现数字球面干涉仪的绝对校准，同时也可对被测球面零件进行绝对测量。
基于旋转法的球面干涉仪系统误差标定方法
【摘 要】
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本文提出了旋转法标定球面干涉仪系统误差的方法，该方法根据Zemike多项式的性质，通过旋转被测球面零件，可以消除干涉仪测量光学球面面形误差时所存在的固有系统误差，可实现数字球
【机 构】
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昆明北方红外技术股份有限公司
【出 处】
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云光技术
【发表日期】
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2015年1期
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