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本文根据气敏光学特性ＳｎＯ２膜的要求，研究采用可控气压喷涂，然后在高温下热处理成膜的方法，使用的设备及工艺方法简单，膜质量好，此法有应用前景。
气敏膜的喷涂—热处理法研究
【摘 要】
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本文根据气敏光学特性ＳｎＯ２膜的要求，研究采用可控气压喷涂，然后在高温下热处理成膜的方法，使用的设备及工艺方法简单，膜质量好，此法有应用前景。
【机 构】
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华南理工大学应用物理系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1997年7期
【基金项目】
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国家自然科学基金,广东省自然科学基金
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