【摘 要】
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主要研究了基于CO2激光微加工实现法布里-珀罗(FP)光学微腔阵列的制备.首先,通过CO2激光微加工和掩模板相结合的方法,在玻璃基底上制备了阵列型的凹面结构,并对结构的特性进
【机 构】
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太原理工大学新型传感器与智能控制教育部重点实验室,山西太原030024
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主要研究了基于CO2激光微加工实现法布里-珀罗(FP)光学微腔阵列的制备.首先,通过CO2激光微加工和掩模板相结合的方法,在玻璃基底上制备了阵列型的凹面结构,并对结构的特性进行了分析.测量及模拟分析结果表明,凹面结构可近似为高斯曲面,深度范围为0.042～0.64 pm,半峰全宽范围为11.30～16.60μm;结构底部可近似为球面.随后,通过镀介质膜和微腔封装,制备了FP微腔阵列,采用平面镜-凹面镜的微腔组装形式,形成FP稳定腔.最后,测试了微腔阵列中光微流激光的产生.
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