在LiNaO3基底上制备PZT铁电薄膜及其电性能研究

来源 :江西师范大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：lhl1208

【摘要】

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采用溶胶-凝胶法在LaNiO3/Si衬底上制作Pb（Zr0.5,Ti0.5）O3（PZT）薄膜,研究了退火温度对薄膜结构和性能影响.通过X-ray分析表明,在600℃退火时,PZT薄膜已形成钙钛矿相,且在（100）择优

【作者】

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王安福王国强王绍明

【机构】

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郧阳师范高等专科学校物理系

【出处】

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江西师范大学学报：自然科学版

【发表日期】

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2007年1期

【关键词】

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铁电薄膜锆钛酸铅电性能溶胶凝胶法 ferroelectric thin films lead Zirconate Titanate electric

【基金项目】

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湖北省教育厅科学技术研究项目（D200560005）和国家高技术研究发展计划（2003BA310A28）资助.

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采用溶胶-凝胶法在LaNiO3/Si衬底上制作Pb（Zr0.5,Ti0.5）O3（PZT）薄膜,研究了退火温度对薄膜结构和性能影响.通过X-ray分析表明,在600℃退火时,PZT薄膜已形成钙钛矿相,且在（100）择优取向的LaNiO3底电极上制备得到了（100）择优取向的PZT薄膜.实验测得以LaNiO3为衬底上的PZT薄膜的剩余极化强度为Pr=26.83μC/cm^2,矫顽场Ec=30.43 kV/cm,介电常数为ε=5509,介电损耗为0.203.

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