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本文介绍了AIN陶瓷基片生产的关键技术，国内外AIN陶瓷封装概况。探讨了AIN陶瓷封装发展的趋势。
氮化铝陶瓷材料
【摘 要】
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本文介绍了AIN陶瓷基片生产的关键技术，国内外AIN陶瓷封装概况。探讨了AIN陶瓷封装发展的趋势。
【机 构】
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合肥信息产业部43所!合肥,230031
【出 处】
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微电子技术
【发表日期】
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1999年02期
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