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设计了一种基于激光莫尔信号的超精密平面定位系统。针对精密定位系统存在非线性难以建立精确控制模型的缺陷，将不基于模型的模糊控制理论应用于精密定位控制系统中，并应用径向基函数（RBF）神经网络实现模糊控制器的输入输出映射关系，构造了神经网络模糊控制器模型，通过对光强及光强变化率的映射，得到电机驱动信号。改造后的模糊控制系统具有了知识自动获取功能，能更好地适应工况环境。实验结果表明，使用模糊神经网络控制，控制响应快、稳定性好及鲁棒性强，可有效提高定位精度及定位速度，系统可获得±0．5μm的定位精度。