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韩国研究人员研制出了笔记本电脑大小的极紫外激光系统。该装置基于蓝宝石衬底上的领结（bow—tie）形金天线，比现有系统小而廉价，可直接从一个单飞秒光脉冲产生极紫外光脉冲。该方法可直接从振荡器中得到EUV光脉冲，不需要昂贵庞大的放大器。采用领结形纳米结构20nm的金原子，将飞秒激光脉冲强度提高了两个数量级。将能量密度为10^11W／cm^2的小脉冲注入到氩气中，直接获得波长小于50nm的EUV脉冲，所需能量仅为传统方法的1/100。