【摘 要】
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Automated residual gas analyzers (RGAs) canplay a very important role in advanced process con-trol (APC), advanced equipment control (AEC), andfault detection a
【机 构】
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MKS Spectra Products Group 380 Woodview Avenue Morgan Hill, CA
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Automated residual gas analyzers (RGAs) canplay a very important role in advanced process con-trol (APC), advanced equipment control (AEC), andfault detection and classification (FDC). Inparticular, automated RGAs can provide needed tooland process information to aid in such analyses.This paper will discuss the role that automated RGAcan play in the areas of APC, AEC, and FDC, presenta viable automated RGA approach, and lastly, pro-vide an example of this approach to the detectionof photoresist.
Automated residual gas analyzers (RGAs) canplay a very important role in advanced process con-trol (APC), advanced equipment control (AEC), andfault detection and classification (FDC). Inparticular, automated RGAs can provide needed tooland process information to aid in such analyzes. This paper will discuss the role that automated RGAcan play in the areas of APC, AEC, and FDC, presenta viable automated RGA approach, and lastly, pro-vide an example of this approach to the detection of photoresist.
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