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集成电路制造工艺技术种类繁多,包括光刻、刻蚀、氧化、扩散、溅射、封装等。作为代表性的先进工艺技术是电子束、离子束和光子束加工技术,俗称三束技术。对三束技术做了介绍。
集成电路制造中的三束技术
【摘 要】
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集成电路制造工艺技术种类繁多,包括光刻、刻蚀、氧化、扩散、溅射、封装等。作为代表性的先进工艺技术是电子束、离子束和光子束加工技术,俗称三束技术。对三束技术做了介绍
【机 构】
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北京物资学院,中国科学院电工研究所
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2008年4期
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