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为了对广泛用于高压系统（HV）灭弧断路器的SF6气体浓度进行实时监测，设计并实现了SF6气体浓度监测系统．阐述了超声波测量气体密度的原理．根据模块化设计思想，采用了CPLD和单片机实现了高精度、宽量程SF6气体浓度测量，并集成了湿度、温度、氧浓度和气压等参数的测量功能．实践证明该系统运行可靠，工作稳定，有效提高了测量精度．