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采用同步辐射X射线对MBE制备的锗硅量子点试样进行了掠入射小角X射线散射（GISAXS，grazing incidence small angle X-ray scattering）研究。根据AFM测量得到的量子点尺寸、形状和间距等参数，采用DWBA理论以及合适的分布函数，利用IsGISAXS程序对一维和二维GISAXS测量结果进行了模拟，模拟结果与实验数据符合很好，表明GISAXS是一种探测锗硅量子点尺寸、形状和分布等结构信息有效的方法。