【摘 要】
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针对传统加工方式的不足,提出使用激光刻蚀微热管复合沟槽的方法.基于正交试验方法优化复合沟槽激光刻蚀工艺参数组合,通过极差分析法绘制了各试验因素与各试验指标之间的关
【基金项目】
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国家自然科学基金项目(50805027);国家自然科学基金项目(50675038);广东省自然科学基金项目(S2013010014070);广州市科技计划项目(20160710156)资助
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针对传统加工方式的不足,提出使用激光刻蚀微热管复合沟槽的方法.基于正交试验方法优化复合沟槽激光刻蚀工艺参数组合,通过极差分析法绘制了各试验因素与各试验指标之间的关系曲线图,得到各试验因素对刻蚀效果的影响程度,并以此为基础优化激光工艺参数,进行微热管复合沟槽激光刻蚀工艺优化研究.试验结果表明:各试验因素对最大毛细压力的影响大小顺序依次为激光重复频率、平均功率、扫描速度、扫描次数.采用优化后的工艺参数进行试验研究,当激光平均功率为20W,重复频率为40kHz,扫描速度为150mm/s,扫描次数为25次时,微热
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