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文章从元器件、组件及系统应用3个层面介绍RF MEMS技术现状,涉及MEMS传输线、开关和开关网络、电感器和电容器、谐振器和滤波器、移相器、压控振荡器、T/R组件、微波收发系统及天线系统等,并提出发展MEMS技术必须解决可靠性、封装及全面仿真设计的3个关键问题。
RF MEMS技术现状及主要问题
【摘 要】
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文章从元器件、组件及系统应用3个层面介绍RF MEMS技术现状,涉及MEMS传输线、开关和开关网络、电感器和电容器、谐振器和滤波器、移相器、压控振荡器、T/R组件、微波收发系统
【机 构】
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中国空间技术研究院西安分院
【出 处】
：
空间电子技术
【发表日期】
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2012年04期
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