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侧墙铬衰减型新结构移相掩模的应用

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：dvvicky

【摘 要】

：

提出了一种全新的移相掩模--侧墙铬衰减型移相掩模(SCAPSM),相对于通常的衰减型移相掩模,其制造工艺仅多两步,却可以较大幅度提高光刻分辨率.采用PROLITH光学光刻模拟软件,参

【作 者】

：

谢常青 刘明 陈宝钦 叶甜春 

【机 构】

：

中国科学院微电子研究所

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2006年z1期

【关键词】

：

193nm光学光刻 衰减型移相掩模 离轴照明 数值孔径 PROLITH 

【基金项目】

：

国家自然科学基金资助项目(批准号:60376020)

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提出了一种全新的移相掩模--侧墙铬衰减型移相掩模(SCAPSM),相对于通常的衰减型移相掩模,其制造工艺仅多两步,却可以较大幅度提高光刻分辨率.采用PROLITH光学光刻模拟软件,参考ArF步进扫描投影光刻机TWINSCAN XT:1400E的曝光参数,对侧墙铬衰减型移相掩模的工艺进行了研究,证明SCAPSM+离轴照明的方案可以将干式193nm光学光刻的分辨率提高到50nm.

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