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文中详细提出了微硅扭摆式静电力平衡加速度计设计的基本理论，根据加速度计的性能指标，应用该理论可以确定加速度计的结构参数；测量电路和的回顾增益，再平衡电压等电气参数。
微硅型扭摆式静电力平衡加速度计的设计分析
【摘 要】
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文中详细提出了微硅扭摆式静电力平衡加速度计设计的基本理论，根据加速度计的性能指标，应用该理论可以确定加速度计的结构参数；测量电路和的回顾增益，再平衡电压等电气参数。
【机 构】
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东南大学电子工程系
【出 处】
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仪表技术与传感器
【发表日期】
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1999年4期
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