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在微／纳机械系统中的一个重要问题就是粘附效应（stiction）。在亚微米尺寸下，Casimir力对于粘附效应的影响是最为严重的。本文分析了Casimir效应对于微纳机械开关中与粘附效应相关的两个参数临界初始距离Lmin和临界电压（pull-in voltage）的影响。在临界电压的分析计算过程中重点讨论了材料性质所产生的作用。随着微纳构件之间距离的减小，材料的导电性和表面粗糙程度对器件的稳定性的影响也越来越大。在微／纳机械系统的制造中，通过选择不同的材料可以极大地改善系统的稳定性。