【摘 要】
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磁控溅射是一种常见的玻璃镀膜工艺，具有工艺简单、真空度易控制等优点。文章探讨基于磁控溅射技术的玻璃真空镀膜自动控制技术，根据玻璃镀膜的工艺流程，设计了一种通用的真空玻璃镀膜机控制系统。该系统以S7-400型的可编程逻辑控制器（Programmable Logic Controller,PLC）为控制核心，实现了玻璃真空镀膜的逻辑控制和现场数据采集与处理。系统上位机监控采用视窗控制中心（Window
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磁控溅射是一种常见的玻璃镀膜工艺，具有工艺简单、真空度易控制等优点。文章探讨基于磁控溅射技术的玻璃真空镀膜自动控制技术，根据玻璃镀膜的工艺流程，设计了一种通用的真空玻璃镀膜机控制系统。该系统以S7-400型的可编程逻辑控制器（Programmable Logic Controller,PLC）为控制核心，实现了玻璃真空镀膜的逻辑控制和现场数据采集与处理。系统上位机监控采用视窗控制中心（Windows Control Center,WinCC）组态软件设计，并利用Modbus协议实现通信。
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