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研究了分子束外延方法生长的ZnO薄膜的光学特性，首先测量样品反射光谱，然后重真研究其光致发光光谱。实验中通过改变激发光的强度，以及采用波导配置和不同的实验几何配置等手段，观察到了ZnO薄膜中起源于激子-激子散射和电子-空穴等离子体复合发光的受激辐射，同时观察到两种配置下自发辐射谱中存在巨大的差异。通过对实验数据和理论计算结果的分析，初步认为造成了从ZnO薄膜表面和侧面得到的PL谱之间的显著区别原因有两种：一是非对称薄膜波导的吸收损耗造成的波长选择效应，二是薄膜波导对掠出射光的类似薄膜微腔的微腔效应。