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采用二次曝光和实时全息干涉技术对BJ016E器件进行了实验测试，获得了不同功率条件下BJ016E表面的离面位移分布以及离面位移随时间的三组动态变化图像。结果表明，随功率的增大器件的离面翘曲量增大，热源区附近的离面翘曲量变化较快而且较大。
BJ016E器件热变形的全息干涉研究
【摘 要】
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采用二次曝光和实时全息干涉技术对BJ016E器件进行了实验测试，获得了不同功率条件下BJ016E表面的离面位移分布以及离面位移随时间的三组动态变化图像。结果表明，随功率的增大器
【机 构】
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中国科学院电子学研究所,郧阳师范高等专科学校物理系
【出 处】
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激光杂志
【发表日期】
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2006年2期
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