非晶态FTN-90合金的研制及其在压力传感器中的应用

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本文所述的非晶态合金是采用单辊决速冷凝法制备的。合金成分为Ni_(78)Si_(10)B_(12).用电测法测量合金的弹性模量E,泊桑比μ,剪切模量G及体积模量K等参数。合金淬火态E=1.805×10~4kgf/mm~2,μ=0.327,G=0.680kgf/mm~2.K=1.738kgf/mm~,无磁性。合金采用真空予处理和氩气处理,E值可达2.34×10~4kgf/mm~2. 采用非晶态合金所制成的φ5.5mm的压力传感器,分别在0、0.001,0.002、0.003,0.004,0.005,0.006、0.007kgf/mm~2 8个检定点正反行程理复时传感器微应变标定值,其重复性一致性都符合使用要求。该传感器与钛合金小型压力传感器压力—应变曲线相比、前者应变为后者的2.7倍. 实验结果表明,这种传感器具有线性关系好、重复性、一致性好、成本低、热处理工艺简单、灵敏度高、传感器易小型化、适于在腐蚀性介质中使用等优点. Amorphous alloys described herein are prepared by single roll rate condensation. The alloy composition is Ni 78 Si 10 B 12.The elastic modulus E, Poisson’s ratio μ, shear modulus G and bulk modulus K of the alloy are measured by electrical measurements. Alloy quenched E = 1.805 × 10 ~ 4kgf / mm ~ 2, μ = 0.327, G = 0.680kgf / mm ~ 2.K = 1.738kgf / mm ~, non-magnetic. Alloy vacuum pretreatment and argon treatment, E value of up to 2.34 × 10 ~ 4kgf / mm ~ 2. Made of amorphous alloy φ5.5mm pressure sensor, respectively, 0,0.001,0.002,0.003, 0.004,0.005,0.006,0.007kgf / mm ~ 2 8 positive and negative checkpoint test points when the sensor micro-strain calibration value, the consistency of their reproducibility are in line with the requirements. Compared with the pressure-strain curve of the small pressure sensor of titanium alloy, the strain of the former is 2.7 times that of the latter.The experimental results show that this sensor has good linearity, repeatability, consistency, low cost, simple heat treatment process, High sensitivity, the sensor is easy to miniaturization, suitable for use in corrosive media and so on.
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