【摘 要】
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半导体产业景气的上升将推动着fab(晶圆厂)利用率的提高,并要求fab最大限度地有效利用资源.这反过来推动了对额外的工程项目的需求,以解决生产力和成本问题.这类项目通常专注
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半导体产业景气的上升将推动着fab(晶圆厂)利用率的提高,并要求fab最大限度地有效利用资源.这反过来推动了对额外的工程项目的需求,以解决生产力和成本问题.这类项目通常专注于提升工艺成品率、减少瓶颈操作的周期时间、降低消耗品的消耗量,或者评估用于提高性能或降低成本的新材料.不幸的是,由于对工具运转时间的要求越来越高,在景气上升时,fab的资源常常受到制约.这限制了fab在重大工程项目能够发挥最大作用的时候实施它们的能力.
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