【摘 要】
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制作了一种新型微型结构CO2传感器，该传感器采用Al2O3陶瓷片作为衬底，sol—gel法制备的固体电解质NASICON（sodium super ionic conductor）材料为离子导电层，复合碳酸盐Li2CO3-BaC0
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制作了一种新型微型结构CO2传感器，该传感器采用Al2O3陶瓷片作为衬底，sol—gel法制备的固体电解质NASICON（sodium super ionic conductor）材料为离子导电层，复合碳酸盐Li2CO3-BaC03（摩尔比为1：1.5）为敏感电极。该传感器在CO2浓度为（500-5000）×10^-6体积分数范围内表现出良好的敏感特性，灵敏度达到67.3mV／decade（毫伏／10×10^-6体积分数），并且功耗由原来的1．08w降到0．72W。微型元件的响应恢复时
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