【摘 要】
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首次报道了用不同浓度的Al离子注入于蓝宝石衬底上的GaN薄膜(注入能量为500keV、注入浓度为1014～1015 cm-2), 在做了不同温度和不同时间的快速热退火处理以及常规热退火处理后
【机 构】
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中国科学技术大学物理系,香港中文大学
【基金项目】
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中国博士后科学基金，安徽省自然科学基金
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首次报道了用不同浓度的Al离子注入于蓝宝石衬底上的GaN薄膜(注入能量为500keV、注入浓度为1014～1015 cm-2), 在做了不同温度和不同时间的快速热退火处理以及常规热退火处理后,在12K下用He-Cd 激光(325nm)激发得到其发射谱.结果显示, 经大剂量Al注入后的样品,其光致发光谱中3.45eV的带边激子发光以及2.9 ～ 3.3eV的4个声子伴随峰消失.此表明大剂量Al注入对GaN的晶体结构造成严重的损伤,以致本征发光消失.经1014cm-2剂量Al注入后的样品,在N2气氛中退火处理
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