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进行了一个用于微细电火花加工的三维精密运动平台设计。对平台的传动方式、布局结构、通信模块等关键环节进行了详细分析，并进行了平台搭建工作，在此基础上测试了平台的性能。试验结果表明，该机构的动态性能和稳态性能良好，实现的双向步进运动可以达到纳米至微米量级的定位精度。
三维纳米定位微动平台的设计与分析
【摘 要】
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进行了一个用于微细电火花加工的三维精密运动平台设计。对平台的传动方式、布局结构、通信模块等关键环节进行了详细分析，并进行了平台搭建工作，在此基础上测试了平台的性能。
【机 构】
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台州职业技术学院机电工程学院,沈阳工业大学机械工程学院
【出 处】
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制造技术与机床
【发表日期】
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2009年7期
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