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玻璃钝化台面二极管的钝化效果,与管芯的台面造型、芯柱腐蚀、和钝化玻璃焙烧工艺都有着密切的关系。在管芯台面造型和钝化玻璃焙烧工艺均一定的前提下,本文讨论了芯柱腐蚀对钝化效果的影响。并介绍一种能显著提高钝化后高压率的新的腐蚀液配方和腐蚀方法。
玻璃钝化台面二极管的芯柱腐蚀及其对钝化效果的影响
【摘 要】
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玻璃钝化台面二极管的钝化效果,与管芯的台面造型、芯柱腐蚀、和钝化玻璃焙烧工艺都有着密切的关系。在管芯台面造型和钝化玻璃焙烧工艺均一定的前提下,本文讨论了芯柱腐蚀对
【机 构】
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贵州半导体厂,
【出 处】
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电子工艺技术
【发表日期】
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1986年08期
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