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为提高基于量子进化算法（QEA）在宽带极紫外（EUV）多层膜设计中的求解效率和精度，本文利用宽带多层膜的光学性能评价函数的梯度信息改进QEA，建立具有明确进化方向的适用于宽带EuV多层膜设计的改进型量子进化算法（IQEA）。对比分析了基于IQEA和QEA的宽带Mo／Si多层膜的膜系设计过程和结果，结果表明，基于IQEA的多层膜膜系设计理论方法具有更优越的求解效率和精度；同时，IOEA同样可以小种群规模进行多参数优化。基于IQEA的宽带Mo／Si多层膜的设计理论实现了包括入射角为0°～18