【摘 要】
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单晶炉是一种在以高纯氩气为主的惰性气体环境中,用石墨热场加热,将多晶硅材料加以熔化,用直拉法生长单晶硅的设备。单晶炉的稳定性能和质量直接影响着制作的单晶质量。对单
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单晶炉是一种在以高纯氩气为主的惰性气体环境中,用石墨热场加热,将多晶硅材料加以熔化,用直拉法生长单晶硅的设备。单晶炉的稳定性能和质量直接影响着制作的单晶质量。对单晶炉进行设计时,不仅要考虑到制作单晶的工艺性,还要掌握机械设备、电子设备和热力方面的技能。文章从机械性能方面对单晶炉的结构进行分析,并提出优化单晶炉的设计方法,以期能够提高单晶炉设备的性能。
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