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利用化学镀铜方法,结合光刻技术,研究了在阳极氧化Al基板上的金属化布线.设计了完成化学镀铜金属化图形的工艺流程,并对影响图形制作的主要因素进行了分析,最终确定了工艺参数.
封装用铝金属基板表面金属化图形的制作
【摘 要】
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利用化学镀铜方法,结合光刻技术,研究了在阳极氧化Al基板上的金属化布线.设计了完成化学镀铜金属化图形的工艺流程,并对影响图形制作的主要因素进行了分析,最终确定了工艺参
【机 构】
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北京科技大学材料科学与工程学院
【出 处】
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新技术新工艺
【发表日期】
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2003年1期
【基金项目】
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北京科技大学校科研和教改项目，教育部留学回国人员科研启动基金
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