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采用Hspice2003.09软件,利用精确和接近实际的元器件模型进行仿真模拟,仿真对象为三输入与门。通过对传输特性的分析,证明三输入与门的三个输入端对输出端的影响存在差异性。通过对不同工艺尺度和不同NMOSFET衬底连接状态的传输特性分析,找到了减小输入端差异性的方法。其中采用了0.5um,2um和4um沟长参数进行仿真分析,结果对实际芯片的电路设计有较直接的参考价值。