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分析了目前我国几种针尖轮廓检测方法、特点和存在问题。提出了一种针尖飞象自动检验方法，其原理是：被检测的针尖和探测器不动，利用转镜系统扫描针尖，产生针尖各部的时序象（飞象），这些依次出现的象受到探测器检测，即可获得反映针尖轮廓的一串直径信息。文中还对飞象扫描法的误差进行了分析和讨论。
针尖轮廓飞象扫描检测方法研究
【摘 要】
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分析了目前我国几种针尖轮廓检测方法、特点和存在问题。提出了一种针尖飞象自动检验方法，其原理是：被检测的针尖和探测器不动，利用转镜系统扫描针尖，产生针尖各部的时序象（飞象），这些依次出现的象受到探测器检测，即可获得反映针尖轮廓的一串直径信息。文中还对飞象扫描法的误差进行了分析和讨论。
【机 构】
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国家教委光电技术与系统开放实验室,重庆大学
【出 处】
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光电工程
【发表日期】
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0年GDGC503.005期
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