【摘 要】
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利用电弧或电子枪蒸发源的离子镀工艺可成功地沉积碳膜。该膜具有良好的粘结性、耐磨性以及低的摩擦系数。 衍射分析表明,沉积的碳膜呈石墨状态。本文介绍镀膜工艺、膜的粘结
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利用电弧或电子枪蒸发源的离子镀工艺可成功地沉积碳膜。该膜具有良好的粘结性、耐磨性以及低的摩擦系数。 衍射分析表明,沉积的碳膜呈石墨状态。本文介绍镀膜工艺、膜的粘结性、摩擦磨损试验以及衍射分析等。
Ion-plating processes using arc or electron gun evaporation sources successfully deposit carbon films. The film has good adhesion, abrasion resistance and low coefficient of friction. Diffraction analysis shows that the deposited carbon film is in a graphite state. This article describes the coating process, the film adhesion, friction and wear testing and diffraction analysis.
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