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以MOCVD设备为例,介绍一种基于DeviceNet现场总线标准,采用远程DeviceNet扫描仪SST-END-1-C2与流量控制器、压力控制器构成现场总线控制网络。给出了DeviceNet软件设计与控制实现。使用效果表明DeviceNet是基于CAN总线技术的一种低成本的通信链接,是一种低端网络系统,具有低成本、高效率、高可靠性的特点。