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本文介绍ZnO压电薄膜基本特性及其应用、声表面波研究现状以及压电式传感器的基本原理,为氧化锌压电薄膜声表面波传感器的研究提供理论参考与应用指导.
氧化锌压电薄膜声表面波传感器的特性与应用
【摘 要】
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本文介绍ZnO压电薄膜基本特性及其应用、声表面波研究现状以及压电式传感器的基本原理,为氧化锌压电薄膜声表面波传感器的研究提供理论参考与应用指导.
【机 构】
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江苏大学食品学院理学院
【出 处】
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商情
【发表日期】
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2017年51期
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