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本文对光刻腐蚀法、光刻镀(涂)层法、镀层腐蚀法、双镀层法等多种高温栅制作工艺进行了详细的讨论,对它们的适用范围及所制光栅的质量控制因素进行了分析,首次提出了多介质镀层法制作高温光栅的新工艺,并成功地制作出可耐1000℃的多介质镀层高温栅,高温氧化实验结果表明,多介质高温栅具有较好的抗氧化能力。
高温光栅质量控制因素研究
【摘 要】
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本文对光刻腐蚀法、光刻镀(涂)层法、镀层腐蚀法、双镀层法等多种高温栅制作工艺进行了详细的讨论,对它们的适用范围及所制光栅的质量控制因素进行了分析,首次提出了多介质镀
【机 构】
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清华大学,中国兵工物资总公司,中国兵工物资总公司北京100084,北京100084,北京100045,北京100045
【出 处】
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测试技术学报
【发表日期】
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1996年3期
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