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研究了电子束曝光机图形数据格式转换软件的分割、压缩算法 ,针对传统的图形数据分割、压缩算法存在的主要缺点 ,提出了新的分割算法和压缩算法 ,并对压缩算法进行了详细的论述和研究。
电子束图形转移过程中的数据分割和压缩算法
【摘 要】
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研究了电子束曝光机图形数据格式转换软件的分割、压缩算法 ,针对传统的图形数据分割、压缩算法存在的主要缺点 ,提出了新的分割算法和压缩算法 ,并对压缩算法进行了详细的论述和研究。
【机 构】
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中科院电工研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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2000年03期
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